解决计划
详情形貌
参数
离子注入手艺是指在半导体晶圆外貌掺杂硼、磷和砷等离子，从而改变其电气特征和器件电导率，或使用非掺杂元素如锗、碳，抵达修改晶圆质料外貌性子的目的 。离子源是离子注入机中最焦点的部件，主要由种种钨、钼部件组成 。离子注入行业关于杂质元素的要求是很是严苛的，任何杂质元素的超标都有可能导致离子注入质料的污染和失效，因此离子注入用钨材或钼材必需首先知足其对化学纯度的严酷要求 。另外，密度也是一项主要的性能参考指标，这是由于离子源中的钨材或钼材零部件，在使用历程中大多会受到电子的轰击或侵蚀 。密度偏低会严重影响零部件的使用寿命 。好的品质源于取材，凯时国际娱乐是海内较早实现工业化规模生产的半导体靶材级（纯度超5N）高纯钨钼粉末质料制造商，关于离子注入用钨钼部件，推荐客户使用4N或5N级高纯质料，经粉末冶金、锻轧、细密机加工等工序制造而成 。
离子注入用钨材及其制品零部件：使用4N或5N级高纯质料，经粉末冶金、锻轧、细密机加工等工序制造而成 。
离子注入用钼材及其制品零部件：使用4N或5N级高纯质料，经粉末冶金、锻轧、细密机加工等工序制造而成 。
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